装置原理

干渉計は位相シフト干渉の原理を利用し、干渉縞を分析することで、検出された表面の形状や傾きによる基準面とのずれの程度の縞の任意の点の光路差を計算することができます。干渉縞は被測定面の状況を表しています。

検測範囲

1、シリンドリカルレンズ面精度測定用のCGHレンズを配備
2、非球面面精度測定用の補償レンズを配備
3、口径1000以上レンズの半径と面精度が測定出来る光学テーブル配備
4、普通の平面と球面レンズの面精度測定

検測機能

一枚レンズ反射式中心偏差測定
一枚レンズ通過式中心偏差測定
有効焦点距離（ＥＦＬ）測定
軸上伝達関数（MTF）
曲率半径測定
バックフォーカス（BFL）測定

技術仕様

測定レンズ最大口径：200mm
測定精度：0.2μm
焦点距離或いは曲率半径範囲：±5-±2000mm

主要応用

現在主に機械部品、金型、異形部品、光学部品などの基本的な寸法、角度、距離、選択した要素間の幾何公差や振れ量などに使用されています。また、大型 (直径 300 ～ 650mm) および大半径 (R 3000+) の光学部品の実際の半径値を正確に測定できます。

データベース

XYZ測定範囲:    700×700×600

測定精度:       (2.6+L/300)μm

工作方式:       手動方式、自動方式

長さ測定システム:  ガラスセラミックスケール、分解能0.2μｍ

機器特長

ソーラー材料、ガラス、フィルター、フィルム、コーティングされた光学材料などの直接透過、可変角度透過、部分散乱、散乱、可変角度絶対正反射、拡散反射などの測定に使用される。
ビームのコリメーションとパッチサイズを完全に制御できる
自従来、数時間から数日かかっていた測定を動化やロボティクスによって分析あたりのコストを抑え、時間と費用を節約できる
これまでにない 10 Abs の測光範囲により、材料に関する新たな情報を取得出来る

設備紹介

博信には非球面レンズ精度を測定するMahr輪郭機を持っています。

測定データ

垂直方向分解率　2nm
形状誤差　＜100nm

機器紹介

博信は非接触測定方法である Zygo 白色光干渉計を配備し、超平滑から粗いまでのさまざまな部品表面の測定に使用されます。

測定データ

測定部品の粗さ、平坦度、微細幾何学的形状をナノメートルからマイクロメートルレベルで測定可能です。

機器紹介

博信のデジタルシリンドリカルレンズ偏心機は、横式構造を採用しており、シリンドリカルレンズ母線の傾き、偏移、ウェッジ角度を非接触・非破壊で効率的正確に測定できます。

測定データ

偏心公差　土1um。

機器紹介

博信はレーザー損傷閾値測定機を持っています。原理としてはレーザー出力強度を調整できる1064nm水冷パルスレーザーを使用して、レーザー放射を光学レンズとフィルムに照射し、高出力顕微鏡を使用して表面欠陥を検出し、損傷閾値を計算します。

測定データ

測定範囲　10J/cm²-400J/cm2。